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タイトルヨミ
チョウ セイミツ コウサク キカイ ノ タメノ イチギメ ギジュツ テンボウ
タイトル別表記
Research Outlook of Positioning Technology for Ultraprecision Machine Tools
著者
水本 洋 鳥取大学大学院工学研究科・情報エレクトロニクス専攻知能情報工学コース KAKEN
キーワード
Active control
Hydrostatic lubrication
Machine tool
Positioning
Tribology
抄録
Positioning technology supporting the development of the ultraprecision machine tool is summarized. For the basic understanding of positioning technology, dynamics of the positioning mechanism and tribology of the guideway are explained. Then, positioning system using hydrostatic lubrication widely used in the ultraprecision machine tools is described, where the positioning resolution of the system is 1nm (10⁻⁹m). Finally, it is shown that the positioning with 10pm (10⁻¹¹m) resolution is realized by using the active control of the aerostatic guigeway.
出版者
鳥取大学大学院工学研究科
資料タイプ
紀要論文
ISSN・ISBN
0385-8596
掲載誌名
鳥取大学大学院工学研究科/工学部研究報告
最新掲載誌名
鳥取大学大学院工学研究科/工学部研究報告
42
開始ページ
17
終了ページ
24
発行日
2012-01-10
著者版フラグ
出版社版
掲載情報
鳥取大学大学院工学研究科/工学部研究報告. 2012, 42, 17-24
部局名
工学部・工学研究科
言語
日本語