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タイトルヨミ
チョウ コウシンクウ ジッケン ヨウ スパッタ ジョウチャク ゲン ノ カイハツ
タイトル別表記
Sputtering Deposition Source for an Ultra High Vacuum (UHV) Experiment.
著者
徳高 平蔵 鳥取大学工学部電子工学科 KAKEN研究者をさがす
百武 秀昭 日鉄電設工業KK
西守 克己 鳥取大学工学部電子工学科
高島 克己 日鉄電設工業KK
出版者
鳥取大学工学部
資料タイプ
紀要論文
ISSN・ISBN
0385-8596
書誌ID
AN00174610
掲載誌名
鳥取大学工学部研究報告
最新掲載誌名
鳥取大学工学部研究報告
12
1
開始ページ
140
終了ページ
153
発行日
1981-10
著者版フラグ
出版社版
掲載情報
鳥取大学工学部研究報告. 1981, 12(1), 140-153
部局名
工学部・工学研究科
言語
日本語