| File | |
| Title Transcription | RF プラズマ アシスト DC スパッタリングホウ ニ ヨリ サクセイ シタ GaテンカZnO トウメイ ドウデンマク ニカンスル ケンキュウ
|
| Authors | |
| Content Type |
Thesis or Dissertation
|
| Current Journal Title | |
| Published Date | 2011-09-26
|
| Text Version |
ETD
|
| Rights | 注があるものを除き、この著作物は日本国著作権法により保護されています。 / This work is protected under Japanese Copyright Law unless otherwise noted.
|
| Language |
Japanese
|
| Grant ID | 甲第251号
|
| Granted Date | 2011-09-26
|
| Degree Name |
博士(工学)
|
| Grantor | 鳥取大学
|
