熊谷直樹 - 論文一覧 - 鳥取大学研究成果リポジトリ

発行日 (降順)

RFスパッタリング法によるタンタル薄膜の生成

著者	小林洋志/ 岸田庸子/ 熊谷直樹/ 笹倉博/
資料タイプ	紀要論文
掲載誌名	鳥取大学工学部研究報告
最新掲載誌名	鳥取大学大学院工学研究科／工学部研究報告
巻	3
号	2
発行日	1973-03-20