@article{oai:repository.lib.tottori-u.ac.jp:00001409,
 author = {西田, 五佐夫 and Nishida, Isao},
 issue = {2},
 journal = {鳥取大学教育学部研究報告. 自然科学, The Journal of the Faculty of Education, Tottori University. Natural science},
 month = {Jun},
 pages = {95--103},
 title = {アルゴンイオンビ-ムによるスパッタリング-1-装置の製作とその特性},
 volume = {27},
 year = {1977},
 yomi = {ニシダ, イサオ and ニシダ, イサオ}
}