@article{oai:repository.lib.tottori-u.ac.jp:00003385,
 author = {徳高, 平蔵 and Tokutaka, Heizo and 百武, 秀昭 and 西守, 克己 and 高島, 克己 and Hyakutake, Hideaki and Nishimori, Katsumi and Takashima, Katsumi},
 issue = {1},
 journal = {鳥取大学工学部研究報告, Reports of the Faculty of Engineering, Tottori University},
 month = {Oct},
 pages = {140--153},
 title = {超高真空実験用スパッタ蒸着源の聞発},
 volume = {12},
 year = {1981},
 yomi = {トクタカ, ヘイゾウ and ヒャクタケ, ヒデアキ and ニシモリ, カツミ and タカシマ, カツミ and ヒャクタケ, ヒデアキ and ニシモリ, カツミ and タカシマ, カツミ}
}