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アイテム
ZnSe単結晶のケミカルエッチングとスパッタエッチングとの比較
https://repository.lib.tottori-u.ac.jp/records/1400
https://repository.lib.tottori-u.ac.jp/records/1400afc3324b-f2a0-43a7-8d71-ac1aab8031de
| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2021-11-25 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | ZnSe単結晶のケミカルエッチングとスパッタエッチングとの比較 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Comparison of Chemical and Sputtering Etchings of Single Crystal of ZnSe | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||||||||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||||||||||
| その他のタイトル | ZnSe タンケッショウ ノ ケミカル エッチング ト スパッタ エッチング トノ ヒカク | |||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||
| 著者 |
西田, 五佐夫
× 西田, 五佐夫
× Nishida, Isao
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| 著者所属 | ||||||||||||||
| 値 | 技術科教室 | |||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : 鳥取大学教育学部研究報告. 自然科学 en : The Journal of the Faculty of Education, Tottori University. Natural science 巻 28, 号 2, p. 109-119, 発行日 1978-12-27 |
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| 出版者 | ||||||||||||||
| 出版者 | 鳥取大学教育学部 | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 03715965 | |||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||
| 収録物識別子 | AN00174585 | |||||||||||||
| 権利 | ||||||||||||||
| 権利情報 | 注があるものを除き、この著作物は日本国著作権法により保護されています。 / This work is protected under Japanese Copyright Law unless otherwise noted. | |||||||||||||
| 情報源 | ||||||||||||||
| 関連名称 | 鳥取大学教育学部研究報告. 自然科学. 1978. 28(2), 109-119. | |||||||||||||
