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アイテム
アルゴンイオンビ-ムによるスパッタリング-2-単結晶のスパッタリング
https://repository.lib.tottori-u.ac.jp/records/1413
https://repository.lib.tottori-u.ac.jp/records/1413f3ce04ae-cfee-4303-8ead-6a3d0a51c7d5
| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2021-11-25 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | アルゴンイオンビ-ムによるスパッタリング-2-単結晶のスパッタリング | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Sputtering by Argon Ion Beam Ⅱ. Sputtering of Single Crystal | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | アルゴンイオンビ－ム ニヨル スパッタリング －２－ タンケッショウ ノ スパッタリング | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
西田, 五佐夫
× 西田, 五佐夫× Nishida, Isao |
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| 著者所属 | ||||||
| 値 | 技術科教室 | |||||
| 書誌情報 |
ja : 鳥取大学教育学部研究報告. 自然科学 en : The Journal of the Faculty of Education, Tottori University. Natural science 巻 27, 号 3, p. 125-132, 発行日 1977-12-27 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 鳥取大学教育学部 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 03715965 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00174585 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | 注があるものを除き、この著作物は日本国著作権法により保護されています。 / This work is protected under Japanese Copyright Law unless otherwise noted. | |||||
| 情報源 | ||||||
| 関連名称 | 鳥取大学教育学部研究報告. 自然科学. 1977. 27(3), 125-132. | |||||
