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アイテム
陽極酸化Ta₂O₅薄膜の電気的特性
https://repository.lib.tottori-u.ac.jp/records/3450
https://repository.lib.tottori-u.ac.jp/records/3450504f8995-5e42-4314-bcde-971ddec48f5a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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rfteu4(1)_119.pdf (329.6 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-06-22 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 陽極酸化Ta₂O₅薄膜の電気的特性 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | The Electrical Characteristics of Anodic Oxidized Ta₂O₅ Films | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | ヨウキョク サンカ Ta₂O₅ ハクマク ノ デンキテキ トクセイ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
小林, 洋志
× 小林, 洋志× 岸田, 庸子× 田中, 省作× 笹倉, 博× Kishida, Yoko |
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| 著者所属 | ||||||
| 値 | 電子工学科 Department of Electronics | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 電子工学科 Department of Electronics | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 電子工学科 Department of Electronics | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 電子工学科 Department of Electronics | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | The dielectric constant, the dielectric loss, the breakdown voltage and the current at high electric fields of Ta₂O₅ 1ayers have been measured using Ta-Ta₂O₅-Au devices with various thicknesses. The Ta₂O₅ layer is prepared by anodizing sputtered Ta films. The rate of anodic oxidation is about 16-18Å/V. The Ta-Ta₂O₅-Au devices with the Ta₂O₅ layers more than 1500Å thick are electrically stable and show the dielectric constants of 20-25, which are slightly smaIIer than those of bulk (25-27). The current at high electric fields depends strongly upon temperature and therefore is considered to be the Schottky current. The breakdown electric field is about 5x10⁶V/cm. A few of the Ta-Ta₂O₅-Au devices studied show the remarkable rectifying characteristics, which may be due to the n― i―p junction of the Ta₂O₅ 1ayer. | |||||
| 書誌情報 |
ja : 鳥取大学工学部研究報告 en : Reports of the Faculty of Engineering, Tottori University 巻 4, 号 1, p. 119-123, 発行日 1973-09-29 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 鳥取大学工学部 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 03858596 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00174610 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | 注があるものを除き、この著作物は日本国著作権法により保護されています。 / This work is protected under Japanese Copyright Law unless otherwise noted. | |||||
| 情報源 | ||||||
| 関連名称 | 鳥取大学工学部研究報告. 1973, 4(1), 119-123 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
