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  1. 鳥取大学の刊行物
  2. 鳥取大学大学院工学研究科/工学部研究報告
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陽極酸化Ta₂O₅薄膜の電気的特性

https://repository.lib.tottori-u.ac.jp/records/3450
https://repository.lib.tottori-u.ac.jp/records/3450
504f8995-5e42-4314-bcde-971ddec48f5a
名前 / ファイル ライセンス アクション
rfteu4(1)_119.pdf rfteu4(1)_119.pdf (329.6 kB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2018-06-22
タイトル
タイトル 陽極酸化Ta₂O₅薄膜の電気的特性
言語 ja
タイトル
タイトル The Electrical Characteristics of Anodic Oxidized Ta₂O₅ Films
言語 en
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ departmental bulletin paper
タイトル(ヨミ)
その他のタイトル ヨウキョク サンカ Ta₂O₅ ハクマク ノ デンキテキ トクセイ
言語 ja-Kana
著者 小林, 洋志

× 小林, 洋志

WEKO 1614
e-Rad 40029450

小林, 洋志

ja-Kana コバヤシ, ヒロシ

en Kobayashi, Hiroshi

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岸田, 庸子

× 岸田, 庸子

WEKO 33964

岸田, 庸子

ja-Kana キシダ, ヨウコ

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田中, 省作

× 田中, 省作

WEKO 3758
e-Rad 90032284

田中, 省作

ja-Kana タナカ, ショウサク

en Tanaka, Shosaku

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笹倉, 博

× 笹倉, 博

WEKO 3187
e-Rad 50032264

笹倉, 博

ja-Kana ササクラ, ヒロシ

en Sasakura, Hiroshi

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Kishida, Yoko

× Kishida, Yoko

WEKO 33965

en Kishida, Yoko

ja-Kana キシダ, ヨウコ

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著者所属
値 電子工学科 Department of Electronics
著者所属
値 電子工学科 Department of Electronics
著者所属
値 電子工学科 Department of Electronics
著者所属
値 電子工学科 Department of Electronics
抄録
内容記述タイプ Other
内容記述 The dielectric constant, the dielectric loss, the breakdown voltage and the current at high electric fields of Ta₂O₅ 1ayers have been measured using Ta-Ta₂O₅-Au devices with various thicknesses. The Ta₂O₅ layer is prepared by anodizing sputtered Ta films. The rate of anodic oxidation is about 16-18Å/V. The Ta-Ta₂O₅-Au devices with the Ta₂O₅ layers more than 1500Å thick are electrically stable and show the dielectric constants of 20-25, which are slightly smaIIer than those of bulk (25-27). The current at high electric fields depends strongly upon temperature and therefore is considered to be the Schottky current. The breakdown electric field is about 5x10⁶V/cm. A few of the Ta-Ta₂O₅-Au devices studied show the remarkable rectifying characteristics, which may be due to the n― i―p junction of the Ta₂O₅ 1ayer.
書誌情報 ja : 鳥取大学工学部研究報告
en : Reports of the Faculty of Engineering, Tottori University

巻 4, 号 1, p. 119-123, 発行日 1973-09-29
出版者
出版者 鳥取大学工学部
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 03858596
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN00174610
権利
権利情報 注があるものを除き、この著作物は日本国著作権法により保護されています。 / This work is protected under Japanese Copyright Law unless otherwise noted.
情報源
関連名称 鳥取大学工学部研究報告. 1973, 4(1), 119-123
著者版フラグ
出版タイプ VoR
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Ver.1 2023-08-02 05:20:23.495596
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