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超精密工作機械のための位置決め技術展望
https://repository.lib.tottori-u.ac.jp/records/3152
https://repository.lib.tottori-u.ac.jp/records/31529e1a30b6-7a98-4c62-9a71-4a8bae3e0531
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
rgsfe42_17.pdf (5.7 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-06-22 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 超精密工作機械のための位置決め技術展望 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Research Outlook of Positioning Technology for Ultraprecision Machine Tools | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | Active control | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | Hydrostatic lubrication | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | Machine tool | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | Positioning | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | Tribology | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題 | Active control | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題 | Hydrostatic lubrication | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題 | Machine tool | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題 | Positioning | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題 | Tribology | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | チョウ セイミツ コウサク キカイ ノ タメノ イチギメ ギジュツ テンボウ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
水本, 洋
× 水本, 洋 |
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| 著者所属 | ||||||
| 値 | 鳥取大学大学院工学研究科・情報エレクトロニクス専攻知能情報工学コース | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Positioning technology supporting the development of the ultraprecision machine tool is summarized. For the basic understanding of positioning technology, dynamics of the positioning mechanism and tribology of the guideway are explained. Then, positioning system using hydrostatic lubrication widely used in the ultraprecision machine tools is described, where the positioning resolution of the system is 1nm (10⁻⁹m). Finally, it is shown that the positioning with 10pm (10⁻¹¹m) resolution is realized by using the active control of the aerostatic guigeway. | |||||
| 書誌情報 |
ja : 鳥取大学大学院工学研究科／工学部研究報告 en : Reports of the Graduate School/Faculty of Engineering, Tottori University 巻 42, p. 17-24, 発行日 2012-01-10 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 鳥取大学大学院工学研究科 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 03858596 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00174610 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | 注があるものを除き、この著作物は日本国著作権法により保護されています。 / This work is protected under Japanese Copyright Law unless otherwise noted. | |||||
| 情報源 | ||||||
| 関連名称 | 鳥取大学大学院工学研究科／工学部研究報告. 2012, 42, 17-24 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
