WEKO3
アイテム
超高真空実験用スパッタ蒸着源の聞発
https://repository.lib.tottori-u.ac.jp/records/3385
https://repository.lib.tottori-u.ac.jp/records/33853184fc0c-d3b9-4554-bde5-ca00e378b720
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
rfetu12(1)_140(1).pdf (789.1 kB)
|
|
| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-06-22 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 超高真空実験用スパッタ蒸着源の聞発 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Sputtering Deposition Source for an Ultra High Vacuum (UHV) Experiment. | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | チョウ コウシンクウ ジッケン ヨウ スパッタ ジョウチャク ゲン ノ カイハツ | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| 著者 |
徳高, 平蔵
× 徳高, 平蔵× 百武, 秀昭× 西守, 克己× 高島, 克己× Hyakutake, Hideaki× Nishimori, Katsumi× Takashima, Katsumi |
|||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 鳥取大学工学部電子工学科 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 日鉄電設工業KK | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 鳥取大学工学部電子工学科 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 日鉄電設工業KK | |||||
| 書誌情報 |
ja : 鳥取大学工学部研究報告 en : Reports of the Faculty of Engineering, Tottori University 巻 12, 号 1, p. 140-153, 発行日 1981-10 |
|||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 鳥取大学工学部 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 03858596 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00174610 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | 注があるものを除き、この著作物は日本国著作権法により保護されています。 / This work is protected under Japanese Copyright Law unless otherwise noted. | |||||
| 情報源 | ||||||
| 関連名称 | 鳥取大学工学部研究報告. 1981, 12(1), 140-153 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
