WEKO3
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超高真空実験用スパッタ蒸着源の聞発
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名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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![]() |
注があるものを除き、この著作物は日本国著作権法により保護されています。 / This work is protected under Japanese Copyright Law unless otherwise noted.
|
Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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公開日 | 2018-06-22 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 超高真空実験用スパッタ蒸着源の聞発 | |||||
タイトル | ||||||
言語 | en | |||||
タイトル | Sputtering Deposition Source for an Ultra High Vacuum (UHV) Experiment. | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
タイトル(ヨミ) | ||||||
その他のタイトル | チョウ コウシンクウ ジッケン ヨウ スパッタ ジョウチャク ゲン ノ カイハツ | |||||
著者 |
徳高, 平蔵
× 徳高, 平蔵× 百武, 秀昭× 西守, 克己× 高島, 克己× Hyakutake, Hideaki× Nishimori, Katsumi× Takashima, Katsumi |
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著者所属 | ||||||
鳥取大学工学部電子工学科 | ||||||
著者所属 | ||||||
日鉄電設工業KK | ||||||
著者所属 | ||||||
鳥取大学工学部電子工学科 | ||||||
著者所属 | ||||||
日鉄電設工業KK | ||||||
書誌情報 |
鳥取大学工学部研究報告 en : Reports of the Faculty of Engineering, Tottori University 巻 12, 号 1, p. 140-153, 発行日 1981-10 |
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出版者 | ||||||
出版者 | 鳥取大学工学部 | |||||
ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 03858596 | |||||
書誌レコードID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00174610 | |||||
権利 | ||||||
権利情報 | 注があるものを除き、この著作物は日本国著作権法により保護されています。 / This work is protected under Japanese Copyright Law unless otherwise noted. | |||||
情報源 | ||||||
関連名称 | 鳥取大学工学部研究報告. 1981, 12(1), 140-153 | |||||
著者版フラグ | ||||||
出版タイプ | VoR |