WEKO3
アイテム
RFプラズマアシストDCスパッタリング法により作製したGa添加ZnO透明導電膜に関する研究
https://repository.lib.tottori-u.ac.jp/records/6083
https://repository.lib.tottori-u.ac.jp/records/608320ebb31f-f84b-45e6-b961-a70951711891
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文 : Full Text (6.8 MB)
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要旨 : Summary (293.2 kB)
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審査結果要旨 : Summary of Thesis Review (245.4 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||||||
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| 公開日 | 2018-06-22 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | RFプラズマアシストDCスパッタリング法により作製したGa添加ZnO透明導電膜に関する研究 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||
| 値 | RF プラズマ アシスト DC スパッタリングホウ ニ ヨリ サクセイ シタ GaテンカZnO トウメイ ドウデンマク ニカンスル ケンキュウ | |||||||||||||
| 著者 |
檜木, 利雄
× 檜木, 利雄
× Hinoki, Toshio
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| 学位名 | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||||||||
| 学位授与機関識別子 | 15101 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 学位授与機関名 | 鳥取大学 | |||||||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||||||
| 学位授与年月日 | 2011-09-26 | |||||||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||||||
| 学位授与番号 | 甲第251号 | |||||||||||||
| 権利 | ||||||||||||||
| 権利情報 | 注があるものを除き、この著作物は日本国著作権法により保護されています。 / This work is protected under Japanese Copyright Law unless otherwise noted. | |||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||
